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洁净室操作与维护

洁净室

控制环境

脏污

在洁净室和控制环境中发现的脏污包括:

  1. 颗粒 — 固体、液体

2. 生物脏污 –细菌、真菌、病毒等等

3. 电子静电

洁净室有三种处理脏污的办法 :

  1. 通过空气过滤器阻止颗粒进入洁净室;
  2. 根据洁净室等级,改变空气纯度,清除个人和生产产生的颗粒;
  3. 提供一个区域,来清除来自个人、设备和生产之前进入洁净室的颗粒;

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